籌備期

從1988~1992 由張俊彥教授及李建平教授負責規劃,於興建固態電子系統大樓時雖曾因經費不足而被迫中斷,所幸張俊彥教授親自面見教育部毛高文部長後獲得圓滿解決,原以潔淨度十級為目標的潔淨室不僅順利完工,在驗收時潔淨度項目竟然遠優於標準而達到一級,品質名列世界前茅。NDL不僅擁有完整的研發設備與先進儀器,並陸續建立各種關鍵技術模組,例如電子束微影、離子佈植、活性離子蝕刻、矽及矽鍺磊晶成長技術等,以支援學術界的前瞻研究工作。

第一任主任-張俊彥 第二任主任-施   敏

第三任主任-倪衛新 第四任主任-楊富量