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編者的話

李耀仁 總編輯

高科技產業的競爭優勢來自於技術的領先及產品的新穎,所以技術是高科技產業競 爭力的核心。本期奈米通訊主要在探討奈米元件與先進製程的相關內容,精彩文章首選 「奈米科技專論園地」的「浮閘記憶體-從發明到數位電子時代」,將帶領讀者回顧浮閘 記憶體過去的發展並預測未來10 年的趨勢。

元件的微小化與技術創新,都是我們現在與未來面臨的課題與任務,故本期奈米元 件另蒐錄相關技術文章與讀者分享,分別有「利用探討低溫微波退火製程針對探討磷離 子與砷離子固相磊晶成長」、「同離子佈植對鎳矽化物之熱穩定性影響」、「低溫微晶矽薄 膜電晶體於可撓式電子元件之應用」及「朝向更低能量之離子植入製程新趨勢與超淺接 面的製作」等4 篇專文。

此外,於2011 年12 月份在美國華盛頓舉行的電子元件領域裡最重要的國際會議 IEDM 中,我們發表四篇相關論文,在台灣獲選的20 篇論文中,我們的四篇,包括導入 銀、鍺兩種新元件材料、並將被動的元件節能科技提昇為主動的自供電力線路模組的內 建矽基太陽能電池元件。

在該會議中也發表了未來10 奈米元件技術,新材料和節能科技的導入,將是未來提 升效能和晶片微小化的關鍵,我們將一併在本期刊介紹。最後,本期刊非常期待與您的 回應與參與,互補不足之方向前進。

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