• 流程 & 辦法
  • 北區服務
  • 檢測分析
  • 高頻技術
  • 南區服務




* 關於北區服務

關於北區服務目前「北區服務」備有幾近完備的六吋晶圓製造線,除了提供產學界委託代工製造的服務外,並開放多數設備讓學員自行操作。對於國內半導體、奈米製造等領域人才的培育,以及學術界的前瞻研究,有著莫大的貢獻。

除在半導體、奈米製造等製程的服務外,北區服務亦提供五吋光罩的製作。相較於業界製造的高收費,由於收費實惠,年平均服務件數約為六百多件,嘉惠許多大專院校的教授與研究生。

為了提升服務的品質與專業性,本實驗室北區服務分為製程服務、 微影光罩、 蝕刻薄膜等組別,其中製程服務組專司委託代工製造的服務,其餘兩組則負責設備與製程穩定性之維護,以及新製程技術之開發。

竭誠歡迎各界善加使用本單位資源委託代工收費方式:以業界訂價收費。

步驟 項目 聯絡窗口 流程說明
1 單機委託 單站工程師
  1. 委託者先與單站製程工程師洽詢相關製程條件
  2. 至對外服務系統申請委託代工 MES 系統填寫製程條件
  3. 待 NDL 估價
  4. 至 MES 系統確認估價於對外服務系統中列印『單站委託製程申請表』請計畫主持人簽章。
  5. 送件。
    【遠地學員可將『單站委託製程申請表(請以無塵紙列印)』連同『試片』一起寄至 NDL 新竹:簡秀芳小姐收;南科:周玲如小姐收】)
    各類儀器設備介紹:
    • 奈米元件廠
    • 高頻與電性量測
    • 奈米元件台南廠
    【委託代工操作手冊】
    【計畫家族關係操作手冊】
2 連續製程 宋金龍
7653
  1. 委託者先與連續製程負責人(宋金龍 分機7653)洽詢相關製程條件。
  2. 申請及送件流程同單站製程。
3 收件登錄 單站工程師
宋金龍
委託者將申請表及試片送達服務窗口後;由本實驗室試驗線或工程師進行製程操作;完成後會再送到服務窗口。
4 製程異動   代工過程中若製程有需異動,可至 MES 拉選『暫停』,和工程師討論後再繼續代工,唯製程異動後估價程序需重跑一次,重新印新的委託製程申請表
5 取件結案 出納:郭愛蓮
7626
  1. 委託者至服務窗口取件時;需於委託申請表上簽名後方可取件。
  2. 光罩製作(或其它材料費需付現之委託件)取件時需先至本實驗室出納單位繳交材料費,憑出納款項收訖章至服務窗口取件。

 

* 關於檢測分析

本實驗室提供高品質的檢測分析服務、人才培育,以及進行前瞻性檢測技術與方法之研發。除了各主要儀器設備的單機服務功能之外,也提供整合式分析服務及客製化試片製備服務,提供完整而快速的分析結果。目前擁有的技術服務領域可細分為三大類,分別為:

  1. 表面化學分析技術: 包括二次離子質譜儀、歐傑電子顯微鏡與 X 光光電子能譜儀
  2. 掃描分析技術: 包括原子力顯微鏡、掃描電容顯微鏡、掃描電流顯微鏡與掃描式電子顯微鏡
  3. 繞射分析技術: 包括高解析的穿透式電子顯微鏡與X 光繞射儀

此外,為了加強實驗室運作的品質與效能、強調實驗室的專業性與提升測試結果的公信力,奈米量測實驗室通過全國認證基金會(TAF)評鑑,取得 ISO17025:2005 測試實驗室之八項量測技術認證:包括 AFM 階高量測、AFM 線距量測、TEM 線距量測、SEM 線距量測、SEM 表面影像觀測、SIMS 硼元素縱深分析、X 光繞射儀之相鑑定與 X 光光電子能譜儀表面定性分析等,並於 2008 年 1 月 3 日完成國際實驗室認證聯盟相互承認協議(ILAC MRA) 的合約簽署,代表實驗室的檢測能力已達到國際水準,與全球 67 個國家 81 認證機構之認可實驗室具有技術同等性。

* 業界委託

步驟 項目 聯絡窗口 流程說明
1 單機委託 操作工程師 委託者上網登入對外服務系統與MES系統,填寫委託申請表,經過工程師確認及報價後,委託申請才成立。
2 整合分析 余東原
(分機7528/7423)
委託者上網登入對外服務系統與MES系統填寫整合分析委託申請表(委託分析項目至少三項才適用,每個研究單位/實驗室每月以三件為限),工程師確認及報價後,委託申請才成立。
※登入會員入口填寫各機台委託申請表
3 收件登錄 簡秀芳
(分機7610)
委託者將申請表及試片送達服務窗口後;由本實驗室試驗線或工程師進行製程操作;完成後會再送到服務窗口。
4 取件 簡秀芳 委託者至服務窗口取件時,需於委託申請表上簽名後方可取件。

* 相關規定

  1. 委託者需詳細填妥申請表,並依規定流程申請,若分析條件不清楚,操作工程師無法進行分析。
  2. 委託者可與分析人員共同討論選擇最佳之分析條件,委託者不得擅自更改協議之分析內容,以確保分析結果良寙之責任歸屬。
  3. 為得到較佳的分析品質及確保系統之功能,委託者有義務於申請時說明試片之材質(如電性、磁性、毒性、輻射性、化學組成、晶體結構、製程、表面形貌 etc.)及分析目的;若委託之試片有損害系統功能之慮,操作工程師得拒絕分析。

* 關於高頻分析

本實驗室擁有完整之高頻量測環境,我們以協助國內各界進行無線通訊所需高頻元件/ 積體電路之技術開發為己任,多年來努力建立高頻相關經驗及技術,期以世界一流等級的實驗環境,提供完善之委託測試與技術服務,以有效支援國內學界及業界之高頻相關研究。其重要使命包括:

  1. 提供國內學界與業界精確而有效率的高頻測試服務
  2. 和學界與業界合作進行高頻元件與電路的先進研發工作
  3. 研發並強化高頻元件與電路之測試、設計及模型驗證技術
  4. 提供高頻技術相關先進訓練課程

目前已建立高達220 GHz之各式量測平台,並擬於2014年將頻率範圍進一步推升至500 GHz:

  1. 220 GHz S 參數量測平台
  2. 220 GHz 高頻電路量測平台
  3. 90 GHz 功率參數量測平台
  4. 90 GHz 雜訊參數量測平台
  5. 高壓功率元件量測平台

步驟 項目 聯絡窗口 流程說明
1 單機委託 操作工程師 委託者上網登入對外服務系統與MES系統,填寫委託申請表,經過工程師確認及報價後,委託申請才成立。
※登入會員入口填寫各機台委託申請表
2 收件登錄 簡秀芳
(分機7610)
工程師進行操作分析後,將分析結果送到服務窗口
3 取件 簡秀芳 委託者至服務窗口取件時,需於委託申請表上簽名後方可取件。

* 委託操作注意事項

  1. 即日起,請使用線上所提供最新版本的量測計劃書表格撰寫量測計劃。
  2. 請於線上申請完成後一週內,將線上量測申請完成時所列印出來的申請表,請指導教授或單位主管簽章後,傳真一份至本實驗室。FAX:03-5733795。
  3. 高頻電路量測系統之申請單其量測型態分為 On-wafer/On-wafer(mounted on PCB)/SMA 三種。元件低頻雜訊/奈米元件量測系統其量測型態分為 On-wafer/On-wafer(mounted on PCB)/Others 三種。除上述三套量測系統外,其餘系統之量測型態僅分為 On-wafer/On-wafer(mounted on PCB) 兩種。
  4. 請參照各儀器設備的 Layout Rule 及注意事項,若不符合規定將無法量測。
  5. 高頻電路委託測試僅需申請高頻電路量測系統即可,本實驗室將視量測計劃書之內容自行協調其他量測系統之使用。唯量測型態、Layout Rule 及其他應注意事項須符合其他系統之要求。(例如:高頻電路如需 50 GHz ~ 110 GHz之S 參數量測,須同時符合高頻電路量測系統及 110GHz 元件高頻 S 參數量測系統之相關要求,本實驗室方能協調此系統之使用)。
  6. 可量測待測物數目之上限為 60,且數目之算法以實際下針量測次數為準。例如:若需要兩種溫度之變溫量測,則可量測待測物數目之上限將為 60/2 = 30,以此類推。
  7. 量測案件若因研究上的需要,可以不受上述規則所限制,唯申請者必須提供內容詳細且完整的量測計劃書,經本實驗室確認量測上的必要性與可行性後,方可進行量測。
  8. 請確實規劃好量測內容,量測計劃書一旦傳真至本實驗室,將不接受任何的事後增改,除非重新進行量測申請。
  9. 請勿針對相同元件/電路申請重複量測。如因出於實驗上的需要使然,請附加上次量測且分析過後的量測數據,供實驗室作重複量測必要性之審查。
  10. 對於量測資料有任何疑問,可在量測時向工程師提出並討論之,請勿在事後提出補量測之請求。
  11. 請量測申請者於排定的量測日期親自攜帶試片至本實驗室,以免元件受損。
  12. 目前提供 BJT 元件及 FET 元件之標準偏壓型態分別為 Common-Emitter Configuration 及 Common-Source Configuration,若其他特殊量測需求請來電本實驗室。TEL:03-5726100 ext. 7607。
  13. 申請量測時,請先確認欲量測的元件或電路可正常運作再送件。
  14. 若申請人無故取消已排定之量測,該次量測申請將被刪除。

* 關於南區服務

「國家奈米元件實驗室」南區分中心為國內積體電路共同研究中心,多年來更培育不少半導體人才。為整合南北區域產學研各界科技研發資源,擴大南部地區研發應用能力,國家奈米元件實驗室於91年9月19日在南科設立南區分中心;並於96年10月03日擴大服務在成大奇美樓增闢實驗室。 南區分中心之成立有兩大目標,(一)延伸製程服務與人才培育窗口:在單一窗口的服務精神下,就近服務南區的產學研界的製程研發工作,加強科技人才的培育與訓練。(二)推展奈米機電技術與奈米生物晶片製造技術的研發。

本實驗室除了於南科標準廠房內設有一百多坪的潔淨室之外,並於成大奇美樓8樓設立了光電實驗室,逐年建立奈米元件製造,太陽能再生能源之相關研究設備,及具備材料與元件重點分析的能力。同時希望藉由提供產學研界所需之半導體、太陽能電池、微機電製程設備與相關教育訓練課程服務,協助其未來工程研發能力的升級,實際帶給南部與北部同等的研發資源與教學服務品質。

※各儀器設備價目表
委託代工收費方式:
學界(含中研院)委託代工:技術服務費以學界訂價*10%收費,材料費100%收費。

步驟 項目 聯絡窗口 流程說明
1 單機委託 單站工程師 委託者先與單站製程工程師洽詢相關製程條件;待製程工程師確認後;再將線上申請表及試片送到服務窗口(周玲如 分機6632);即完成委託申請。
2 整合分析 各站工程師 委託者先與每一個站工程師洽詢相關製程條件;待個站工程師確認後;再將線上申請表及試片送到服務窗口(周玲如 分機6632);即完成委託申請。
3 收件登錄 周玲如
6632
委託者將線上申請表及試片送達服務窗口後;由本實驗室試驗線或工程師進行製程操作;完成後會再送到服務窗口。
4 取件 周玲如
6632
  1. 委託者至服務窗口取件時;需於委託申請表上簽名後方可取件。
  2. 光罩製作取件時需繳交材料費或於取貨拿到發票日起算;壹個月內以現金、電匯(T/T)、即期支票或匯票付款。